2025年10月15日-17日，2025湾区半导体财产生态展览会（湾芯展）于深圳会展中央隆重举办。姑苏新施诺半导体装备有限公司携自立研发的AMHS天车体系表态湾芯展，现场展示OHT（天车体系）真实运行效果。
本届湾芯展，新施诺荣获“2025‘湾芯奖’之卓着企业奖”，该奖项于深圳市人平易近当局、深圳市成长及鼎新委员会、中国国际工程咨询有限公司的引导下，由行业首脑、权势巨子学者和资深专家构成专业评审委员会，联合专业不雅众公然投票综合评比。
（新施诺荣获“2025‘湾芯奖’之卓着企业奖”）
AMHS天车：晶圆制造厂物流进级的要害跟着晶圆制造工艺向更高制程（如14nm如下节点）及更年夜尺寸（12英寸成为主流）演进，晶圆厂对于主动化物料搬运体系（Automatic Material Handling System，AMHS）的需求年夜幅上升，对于物流体系的效率、精度及不变性要求到达史无前例的高度。
屠杰于演讲中指出："12英寸晶圆厂已经成为行业主流，其出产范围年夜、工艺繁杂、对于良率敏感性高，对于AMHS天车体系提出了极致要求。"
（发卖副总司理屠杰于展会时期发表主题演讲）
针对于12英寸晶圆厂于物流体系方面高干净度、高不变性、高效率传送、高繁杂度、低振动以和全主动化体系对于接的需求，OHT体系依附其卓着的机能，正成为晶圆制造厂物流主动化方案的焦点。
数据显示，于12英寸晶圆制造历程中，单片晶圆需于数百台装备间流转，履历上千道工序，单次出产周期中晶圆传输里程超20千米；整厂OHT轨道总长超50千米，逐日需完成50万次以上运输使命，其繁杂性堪比都市交通体系。 OHT体系已经从辅助东西进级为晶圆厂的“神经收集”，任何一次宕机均可能致使整厂停产，造成巨年夜经济丧失。
屠杰指出：为打破高端半导体系体例造设备持久依靠入口的场合排场，新施诺毅然肩负起OHT体系国产化的重担，今朝已经乐成打造出高机能OHT解决方案，其OHT小车的技能规格已经到达很是高的水准：
·速率与加快度：直线最高速率可达5.3m/s，转弯最年夜速率可达1.0m/s，加快度、减速率别离可达2m/s²、3m/s²；
·负载能力：尺度负载能力为15kg（可定制最年夜负载50kg），可兼容尺度的300妹妹FOUP、FOSB，200妹妹SMIF POD、CST，PLP600妹妹 FOUP等载具；
·定位精度：反复定位精度可达±1妹妹，确保与工艺装备端口（Load Port）的精准对于接； ·靠得住性：平均无端障时间（MTBF）于2000小时以上，体系可用性（Uptime）高达99.999%； ·干净度：可于Class10的干净情况中运行。
于本次湾芯揭示场，新施诺展示了AMHS天车体系的现实运行场景，吸引了浩繁专业不雅众驻足不雅摩。观光者可近间隔不雅看OHT天车于轨道上的精准运行、晶圆载具的主动装卸等要害环节，直不雅感触感染智能物流设备的技能实力与立异结果。
OHT体系是一个繁杂的软硬件集成体系，除了了硬件体系，还有有计较机集成制造体系（CIM）。新施诺于展位上也展示了OHT体系的软件节制界面，包括物料搬送节制体系MCS、3D数字孪生体系DTS等焦点功效，为行业同仁提供了直不雅的国产化解决方案参考。
晶圆制造厂的物流体系是一项投资重大、技能复杂、周期漫长的体系性项目，面对着技能与治理计划的严重磨练。今朝，AMHS国产化仍面对技能壁垒高、整厂部署验证难、复合型人材稀缺和焦点零部件供给链危机等多重挑战。
当前国产AMHS推广的最年夜障碍之一，是缺少年夜范围现实出产情况中的验证案例及现场运行数据。同时，周详机电、高机能驱动器、要害节制器等焦点元器件仍严峻依靠入口，供给链安周全临挑战，复合型技能人材的贮备也亟待增强。
面临挑战，新施诺以“聚焦要害痛点，打造比力上风”为焦点战略，走出了一条务实而高效的破局之路。于技能立异方面，新施诺已经实现OHT轻量化设计迭代，并于节制器架构、技能线路和操作体系选择上形成为了怪异上风，致力在打造越发不变、高效、可控的国产天车体系。
于生态设置装备摆设上，新施诺始终对峙开放互助的理念，经由过程供给链同盟，深化与集成商的协同互助，推进战略互助与财产安全结构，实现资源同享、危害共担、配合验证，鞭策公司及全行业的进阶。
截至今朝，新施诺已经乐成于海内多个12英寸和8英寸晶圆厂完成AMHS体系的交赋予部署。公司不仅提供高机能硬件装备，更经由过程自立研发的软件体系，实现对于物流使命的智能调理、及时监控与高效治理，周全保障体系不变运行，赋能晶圆厂实现物流体系的智能化进级。
于12英寸进步前辈制程晶圆厂这一战略高地，AMHS的国产化已经不仅是技能能力的表现，更是保障半导体财产链安全与自立可控的主要基石。瞻望将来，新施诺将继承对峙持久主义，以客户为中央，用立异技能赋能智能制造，助力中国半导体财产高质量成长！封面图片来历：新施诺
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